東京科学大学　機械系分析室

Common Laboratory for Mechanical Engineering

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光学式表面形状測定顕微鏡
(Optical Surface Profiler)

形状測定 Shape measurement

2021.04.03 2021.01.27

Keyence VF-7500

Fee: 500 yen/hour

形状測定 Shape measurement

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関連設備

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ゲルスタンプ型3D形状計測器
（Gel stamp type 3D shape measuring instrument）

gelsight Mobile 1.0X Fee: 1,000 yen/hour

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ワンショット三次元形状測定器
(3D-CMM: Coordinate Measuring Machine)

Keyence VR3000
Fee: 1,500 yen/hour

Measurement range (XY): 24×18～1.9×1.4mm, (Z):10±5／1±0.5mm

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三次元スキャナ
(3D Scanner)

Roland PICZA LPX-600
Fee: 500 yen/hour

Non-contact laser sensor triangulation method,
Max. scan area: Φ254x406.4mm or (W)254x(H)406.4mm

形状測定 Shape measurement

触針式表面形状・粗さ測定器
(Stylus Surface Profiler)

Kosaka DSF600(K31)
Fee: 1,500 yen/hour

Measurement range 8mm
Max measuring range 100mm
Z resolution 12nm

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